半導体プロセスの検査・解析技術が学べるZoomセミナー

株式会社AndTechは、2026年5月22日(金)に「半導体プロセスにおける検査・解析技術の全体像と基礎原理および光と電子を組み合わせた新しい解析技術の最新動向」をテーマとしたZoomセミナーを開講する。開催時間は13:00～16:30で、参加費は45,100円(税込)となっている。

講師は東京大学と元キオクシアの専門家

講師を務める藤原弘和氏は、東京大学大学院新領域創成科学研究科に所属し、物性物理学を専門とした半導体メーカーでのデバイス開発経験を持つ。先端半導体のトレンドから今後必要となる検査・解析技術、とりわけ近年開発が進められている光と電子を利用した新しい検査手法について詳しく紹介する予定だ。

光学検査から走査プローブ検査まで網羅的に学ぶ

セミナーでは、光学顕微鏡やレーザー顕微鏡といった光学検査の基礎から、走査型電子顕微鏡(SEM)や透過型電子顕微鏡(TEM)などの電子線検査、さらに原子間力顕微鏡(AFM)などの走査プローブ検査の基礎を学習できる。加えて、半導体プロセス中の検査の種類と用途、ウェハ欠陥検査やマスク欠陥検査などの最近の検査・解析技術の動向についても解説される。

セミナーの申し込みと詳細情報

本セミナーはWEB会議ツール「Zoom」を用いたライブ配信形式で実施される。受講希望者は、AndTechの公式サイトから申し込むことで、後日Zoom URLが送付される。電子資料も配布予定となっており、詳細情報はAndTechの公式サイトで確認できる。

出典: https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000001585.000080053.html